(1) การทำ Pre-PVD รวมถึงการทำความสะอาดสิ่งของและการรักษาก่อนวิธีการทำความสะอาดเฉพาะ ได้แก่ การทำความสะอาดด้วยผงซักฟอก การทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายเคมี การทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง และการทำความสะอาดด้วยไอออนบอมบ์
(2) ใส่ลงในเตาเผา รวมทั้งการทำความสะอาดและติดตั้งห้องสุญญากาศ และการติดตั้ง การว่าจ้าง และการเชื่อมต่อของรายการและอุปกรณ์ติดตั้ง
(3) การดูดฝุ่น โดยทั่วไปปั๊มถึง 6.6Pa หรือมากกว่า เปิดด้านหน้าของปั๊มกระจายก่อนหน้านี้เพื่อรักษาปั๊มสุญญากาศและทำให้ปั๊มกระจายความร้อนหลังจากการอุ่นล่วงหน้าเพียงพอแล้ว วาล์วสูงจะเปิดและสูบไปยังสุญญากาศครึ่งล่าง 6 x 10-3 Pa ด้วยปั๊มกระจาย
(4) การอบ การอบรายการให้อยู่ในอุณหภูมิที่ต้องการ
(5) การทิ้งระเบิดด้วยไอออน สุญญากาศโดยทั่วไปคือ 10 Pa ถึง 10-1 Pa แรงดันไอออนทิ้งระเบิดคือแรงดันสูงเชิงลบที่ 200 V ถึง 1 KV และเวลาในการโจมตีคือ 15 นาทีถึง 30 นาที
(6) การหลอมล่วงหน้า ปรับกระแสเพื่อหลอมวัสดุล่วงหน้า ปรับกระแสเพื่อหลอมล่วงหน้าการชุบ และ degassing 1 นาที ~ 2 นาทีการระเหยของการสะสมตัวกระแสการระเหยจะถูกปรับตามต้องการจนกว่าเวลาการสะสมที่ต้องการจะสิ้นสุดลงการทำความเย็น รายการจะถูกทำให้เย็นลงในอุณหภูมิที่กำหนดในห้องสุญญากาศ
(7) หลังจากนำสิ่งของออกแล้ว ห้องสุญญากาศจะปิดลง สุญญากาศจะถูกอพยพไปที่ l × l0-1Pa และปั๊มกระจายจะถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิที่อนุญาตก่อนปั๊มบำรุงรักษาและปิดน้ำหล่อเย็นได้