(1) การทำ Pre-PVD รวมถึงการทำความสะอาดสิ่งของและการรักษาก่อนวิธีการทำความสะอาดเฉพาะ ได้แก่ การทำความสะอาดด้วยผงซักฟอก การทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายเคมี การทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง และการทำความสะอาดด้วยไอออนบอมบ์(2) ใส่ลงในเตาเผา รวมทั้งการทำความสะอาดห้องสุญญากาศและติดตั้ง และการติดตั้ง...
อ่านเพิ่มเติม